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细美事申请基板支承单元及基板处理装置专利包括能够装卸的试样用垫盘
2026-02-07 
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返回列表国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板支承单元以及包括其的基板处理装置”的专利，公开号CN121443016A，申请日期为2025年4月。
专利摘要显示，本发明涉及一种基板支承单元以及包括其的基板处理装置，根据本发明的一实施例的基板支承单元，其特征在于，包括：垫盘，被安放基板；基底板，支承所述垫盘；以及接合层，用于结合所述垫盘和所述基底板，所述垫盘包括能够装卸的试样用垫盘。
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